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氫氣傳感器采用先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)生產(chǎn)
來源:http://www.log-sy.com 點(diǎn)擊數(shù):2627次 更新時間:2015-6-12 16:13:07
氫氣傳感器,采用先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)生產(chǎn),利用被測組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護(hù)簡單等優(yōu)點(diǎn)。氫氣分析傳感器可廣泛應(yīng)用于天然氣,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等氣體成份檢測,對氫氣的檢測效果特別顯著,另外也可用于測量非常小的氣體容積變化。
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